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真空范圍 | 真空度 | 工藝 | 真空系統(tǒng) |
低真空 | 105~102Pa | *真空輸運(yùn) | *干式旋片泵系統(tǒng) |
中真空 | 102~10-1Pa | *真空充氣裝置 | *多級旋片泵系統(tǒng) |
高真空 | 10-1~10-5pa | *真空鍍膜 | *擴(kuò)散泵系統(tǒng) |
超高真空 | <10-5Pa | *電子顯微鏡*等離子體發(fā)生器 | *渦輪分子泵系統(tǒng) |
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