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GGCKZJ-III/10C型壓力容器真空測(cè)控組件(以下簡(jiǎn)稱測(cè)控組件)是融合真空測(cè)量、管道控制于一體的測(cè)控組件,具有體積小、真空測(cè)量范圍寬、快速抽放真空、簡(jiǎn)單快速安裝、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、操作簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)。
測(cè)控組件主要由閥體組件、真空測(cè)量傳感器兩部分組成。
閥體組件(型號(hào):GGCKZJ-III)
閥體組件是由?28直通管道焊接口、CF25法蘭盤、KF16法蘭盤、兩個(gè)超高真空手動(dòng)閥以及閥體通道組成。
J1是閥體組件與抽真空機(jī)組的KF16連接口,當(dāng)不對(duì)傳感器抽真空(或者不連接抽真空機(jī)組)時(shí)此口用真空盲板連接。
J2是閥體組件與真空測(cè)量傳感器的CF16連接口,當(dāng)需要更換真空測(cè)量傳感器時(shí)可通過此口簡(jiǎn)單快速的更換。
J3是閥體組件與設(shè)備連接的?28連接口,當(dāng)需要更換測(cè)控組件(或者檢修設(shè)備)時(shí)可通過此口簡(jiǎn)單快速的操作。
K1手動(dòng)閥是控制J/2連接口與J3連接口的通斷,K2是控制K1手動(dòng)閥腔體與J1連接口的通斷。
閥芯采用全金屬波紋管閥芯,閥體材質(zhì)為不銹鋼材質(zhì),焊接工藝為氬弧焊,能耐200℃的高溫,其真空漏率為Q≤1×10-11Pa·m3·s-1。
其外形結(jié)構(gòu)及3D立體圖如圖1、圖2所示:(單位:mm)
真空測(cè)量傳感器(型號(hào):ZJ-10C/CF16)
真空測(cè)量傳感器是用于檢測(cè)真空度,滿足所要求的測(cè)量范圍和精度并將產(chǎn)生模擬量信號(hào)傳遞給真空測(cè)量?jī)x表。
CF16法蘭是與閥體組件連接的連接口,當(dāng)需要更換真空測(cè)量傳感器時(shí)可通過此口簡(jiǎn)單快速更換。
傳感器保護(hù)罩是保護(hù)真空測(cè)量傳感器的電氣連接端,即當(dāng)不需要測(cè)量當(dāng)前真空度時(shí),保護(hù)罩保護(hù)傳感器的電氣連接端,防止外界因素?fù)p壞真空測(cè)量傳感器;當(dāng)需要測(cè)量當(dāng)前真空度時(shí),取下保護(hù)罩,連接信號(hào)線即可測(cè)量真空度。
真空測(cè)量傳感器的材質(zhì)為不銹鋼和陶瓷,焊接工藝為氬弧焊,能耐200℃的高溫,其真空漏率為Q≤1×10-11Pa·m3·s-1。
真空測(cè)量傳感器的工作溫度:-35℃~70℃;存儲(chǔ)溫度:-40℃~200℃;工作濕度:≤95%;
真空測(cè)量傳感器的測(cè)量范圍:1.0x10+5Pa~1.0x10-4Pa。
其外形結(jié)構(gòu)及3D立體圖如圖3、圖4所示:(單位:mm)
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