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型號:1kW微波等離子體火炬
說明:微波等離子
GMPT-209 1kW微波等離子體火炬
一、技術(shù)特點及用途
● 系統(tǒng)將微波源,微波傳輸系統(tǒng),等離子體火炬腔及控制系統(tǒng)等各部分有機地組合成的一套完整的設(shè)備,它具有性能先進、功能完善、結(jié)構(gòu)合理,使用方便。
● HMPT-209 微波等離子體火炬是實驗室用AES 和化學處理研究的理想工具。其廣泛用于SiO2、金剛石膜等材料的快速CVD合成;多種金屬材料的表面改性處理;花崗巖片的表面精細加工;超微細粉的制備;材料的精細焊接和切割等等。
● 火焰溫度高,形狀易控制,極高的等離子體密度,在與被處理材料產(chǎn)生有利的化學作用后,能快速沉積SiO2,金剛石膜等多種材料
● 適應(yīng)于多種氣體,工作穩(wěn)定,操作方便。
二、技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) | |
工作頻率 | 2450±50MHz |
輸出功率 | 0.1-1kW連續(xù)可調(diào) |
功率穩(wěn)定度 | (在額定功率電平) 優(yōu)于±1% |
輸出波導(dǎo)接口 | 功率頭外置帶FD-26標準法蘭 |
輸入電源 (1和2可選擇配置) | 1)380V±10% 50Hz,三相四線,3kVA 2)220V±10% 50Hz,單相,2kVA(開關(guān)電源) |
冷卻水流量 | 3 L/min |
系統(tǒng)駐波系數(shù) | VSWR ≤ 1.5 |
微波泄漏 | 符合國際標準 |
工作氣壓范圍: | 100 Torr 至大氣壓 |
氣 體 | 2路氣體(適合于多種氣體) |
系統(tǒng)包括:
1、1kW程控微波源、功率頭;(也可配1kW開關(guān)電源)
2、波導(dǎo)傳輸系統(tǒng):BJ-26環(huán)行器、BJ-26水負載、BJ-26電動銷釘、BJ-26短路活塞、BJ-26火炬腔;
聯(lián)系電話:028-84372044 張經(jīng)理:13628002725
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