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型號(hào)：大面積矩形腔微波等離子體系統(tǒng)
說(shuō)明：微波等離子體
GMPS-2010K大面積矩形腔微波等離子體系統(tǒng)
一、技術(shù)特點(diǎn)及用途
● HMPS-2010K是一套開(kāi)槽波導(dǎo)耦合，以大面積矩形等離子體放電腔模型為依據(jù)，結(jié)合我公司多年搞微波等離子體系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)研制的1Kw/2450MHz多用途、高穩(wěn)定中等壓強(qiáng)微波等離子體綜合實(shí)驗(yàn)和加工設(shè)備。
● 系統(tǒng)將微波源，微波傳輸系統(tǒng)，真空和測(cè)量系統(tǒng)，兩路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)以及總體電氣控制系統(tǒng)等各部分有機(jī)地組合成的一套完整的設(shè)備，它具有性能先進(jìn)、功能完善、結(jié)構(gòu)合理，使用方便、安全可靠、外形美觀，特別適合應(yīng)用于多種微波等離子體綜合實(shí)驗(yàn)和加工等高新科技領(lǐng)域。
二、系統(tǒng)組成和主要特點(diǎn)：
●系統(tǒng)選用我們研制成功的新一代HMG-2010C，1Kw/2450MHz高穩(wěn)定計(jì)算機(jī)程控微波功率源，其微波功率0.1 ~ 1kW連續(xù)可調(diào)，穩(wěn)定度優(yōu)于±1%，控制性能好，內(nèi)部單片機(jī)提供方便手動(dòng)程控，實(shí)現(xiàn)程序控制，由于采用了先進(jìn)的磁控管燈絲降壓跟蹤技術(shù)，無(wú)電容電感濾波的高精度電壓反饋調(diào)整穩(wěn)定技術(shù)以及完善的線(xiàn)路安全閉鎖控制系統(tǒng)，使系統(tǒng)工作壽命長(zhǎng)，性能優(yōu)良，安全可靠，操作簡(jiǎn)單方便。
●系統(tǒng)采用了由高性能微波環(huán)行器，電動(dòng)三銷(xiāo)釘調(diào)配器，帶反射波取樣的水負(fù)載以及過(guò)度等連接波導(dǎo)組成的優(yōu)良微波傳輸系統(tǒng)。它確保反射波對(duì)磁控管的良好隔離，使之穩(wěn)定工作，又能在等離子體負(fù)載大范圍變化時(shí)能方便地調(diào)節(jié)最佳匹配，達(dá)到微波功率的最佳傳輸，并通過(guò)反射波取樣，以數(shù)字顯示反射功率大小和實(shí)時(shí)工作狀態(tài)。
●多端口矩形微波等離子體放電腔，本系統(tǒng)采用了5個(gè)端口，由優(yōu)質(zhì)不銹鋼焊接而成的水冷結(jié)構(gòu)的大容積放電腔，它與長(zhǎng)的開(kāi)槽波導(dǎo)連成一體，其上表面通過(guò)一塊高品質(zhì)石英板（440x200x15mm）保持微波傳輸和真空密封，該放電腔具有以下功能端口：
1）在放電腔右側(cè)面開(kāi)設(shè)φ150mm園形旋轉(zhuǎn)門(mén)式進(jìn)出料窗口，可方便放入大直徑的基片樣品，又帶石英玻璃和網(wǎng)狀微波屏蔽窗口，工作時(shí)清楚觀察腔內(nèi)放電工作情況。
2）在放電腔中部前后設(shè)置2個(gè)φ150mm帶石英玻璃和網(wǎng)狀微波屏蔽的備用窗口, 可供基片表面觀測(cè)和其它測(cè)量需要時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)接口.
3）在放電腔底部中間設(shè)置一個(gè)KF-25標(biāo)準(zhǔn)端口與真空泵和真空系統(tǒng)相連結(jié)。
4）在放電腔后部對(duì)稱(chēng)設(shè)置2個(gè)KF-25標(biāo)準(zhǔn)端口供測(cè)溫和等離子體診斷接口。
5）在放電腔左側(cè)面設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)接口與供氣和氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)相連接。 真空獲得和測(cè)控系統(tǒng)，系統(tǒng)選用抽速為 4L / min的直連式高性能機(jī)械泵和電磁閥，其極限真空度6×10-2 Pa，系統(tǒng)備有中低壓強(qiáng)電阻（大氣~ 1x10-1Pa）和壓（100Pa~100kPa）兩套真空計(jì)，測(cè)量?jī)x表置于機(jī)柜之中, 方便真空和氣體流量的控制和讀數(shù)。
●氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)，采用兩路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)，內(nèi)置于設(shè)備機(jī)柜中，氣路短、緊湊、通過(guò)角閥和針閥控制調(diào)節(jié)十分方便。
●系統(tǒng)還設(shè)計(jì)了功能齊全，保護(hù)良好的總體電氣控制系統(tǒng)，一起集成于一臺(tái)機(jī)柜中，它具有性能先進(jìn)、功能完善、結(jié)構(gòu)合理，使用方便、安全可靠、外形美觀。
三、技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù) | |
工作頻率 | 2450±50MHz |
輸出功率 | 0.1-1kW連續(xù)可調(diào) |
功率穩(wěn)定度 | （在額定功率電平） 優(yōu)于±1% |
輸出波導(dǎo)接口 | 功率頭外置帶FD-26標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
控制方式 | 手動(dòng)編程控制，實(shí)現(xiàn)屏幕編程控制 |
輸入電源 | 380V±10% 50Hz，三相四線(xiàn)，4kVA |
冷卻水流量 | 5 L/min |
系統(tǒng)駐波系數(shù) | VSWR ≤ 1.5 |
電動(dòng)銷(xiāo)釘調(diào)配器功能 | 負(fù)載較大變化范圍內(nèi)可通過(guò)電控調(diào)節(jié),使VSWR保持在最佳數(shù)值。其反射功率電平在微波源面板上 以數(shù)字表顯示。 |
石英密封窗尺寸 | 440（L）×200（W）×15（H）mm |
腔體尺寸 | 440（L）x 200 (W) x 250 (H) mm |
真空系統(tǒng) | 極限真空度，優(yōu)于1×10-1 Pa。 |
氣路系統(tǒng) | 兩路MFC ( Mass Flow Control )系統(tǒng)，各氣路量程由用戶(hù)確定 |
設(shè)備外形尺寸 | 1.7（L）x 0.7（W）x 1.5（H）m |
設(shè)備總量 | 約700 kg |
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